針筒式旋轉涂布機是專為微量、高精度涂布需求設計的專用設備,憑借樣品用量少、涂布均勻性高、可控性強等核心特點,廣泛應用于半導體芯片、柔性電子、生物傳感器、光學薄膜等精密制造領域,實現納米級至微米級薄膜的精準涂布,是微納制造的關鍵工藝裝備。?
微量精準涂布是其核心競爭力。設備采用“針筒供料-高速旋轉”一體化設計,通過高精度注射泵控制針筒內的微量樣品,以滴加或微量擠出方式將樣品輸送至基片中心,再通過基片的高速旋轉產生的離心力,使樣品均勻鋪展形成薄膜。涂布厚度可通過轉速、樣品粘度、供料量精準調控,厚度控制精度達±1nm,薄膜均勻性誤差≤2%,能滿足半導體芯片涂層、量子點薄膜等高精度場景需求。在柔性電子制造中,用0.5μL導電漿料即可在柔性基片上形成均勻導電涂層,大幅降低貴重材料損耗;在生物傳感器制備中,精準涂布納米級生物識別薄膜,確保傳感器檢測靈敏度。?

可控性強與工藝適配性突出。配備可編程控制系統,可預設多段轉速程序,適配不同粘度樣品的涂布需求:低粘度樣品通過高轉速控制厚度,高粘度樣品通過階梯式轉速實現均勻鋪展。針筒與供料管路采用耐腐蝕材料,適配光刻膠、導電漿料、生物試劑等多種類型樣品;支持基片尺寸從2英寸至8英寸靈活調整,兼容硅片、玻璃、聚合物等不同材質基片。在半導體光刻工藝中,精準涂布光刻膠薄膜,確保光刻圖案分辨率;在光學薄膜制備中,控制薄膜厚度實現特定光學性能。?
智能化與操作便捷性提升工藝效率。針筒式旋轉涂布機搭載觸摸屏操作界面,實時顯示轉速、時間、供料量等參數,支持工藝參數存儲與調用,便于批量生產時的工藝復現。配備基片真空吸附裝置,確保高速旋轉時基片不偏移;部分機型集成光學厚度監測模塊,可實時反饋薄膜厚度并自動調整工藝參數。在高校微納實驗室,用于科研樣品的精密涂布;在半導體封裝廠,作為芯片鈍化層涂布的核心設備,其微量精準的涂布能力,成為制造領域重要的工藝裝備。?